分子泵使用注意事项
l 不能在前级泵工作时(前级管路接通时)和真空腔室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。
l 分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要将分子泵的冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气,决不能从泵的前级管路充气。
l 选择前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级处于分子流状态。
l 不能使涡轮分子泵低于额定工作转速下运转。
l 分子泵入口应装设防护网,避免异物进入分子泵内,损坏转子和定子叶片。
Tips:
1.以上为专业建议,非常建议您遵守。
2.当然,世事无绝对,您完全可以尝试不遵守。
3.如果发生意外,请优先选择帕乇送修,非常感谢!